Setra西特225超高純壓力變送器·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過(guò)程工具
·氣柜
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于半
導(dǎo)體工藝過(guò)程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工
作、高吞吐量和超高*穩(wěn)定性的控制應(yīng)用于高純度氣體輸送系統(tǒng)·半導(dǎo)體過(guò)程工具,氣柜
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶(hù)可方便地調(diào)節(jié)
用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的 12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /
Setra西特225超高純壓力變送器·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·
半導(dǎo)體過(guò)程工具
·氣柜
Setra西特225超高純壓力變送器·專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于半
導(dǎo)體工藝過(guò)程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工
作、高吞吐量和超高*穩(wěn)定性的控制應(yīng)用于高純度氣體輸送系統(tǒng)·半導(dǎo)體過(guò)程工具,氣柜
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶(hù)可方便地調(diào)節(jié)
用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的 12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /
內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，
該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類(lèi)型。 GCT-225 系列產(chǎn)品
提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類(lèi)型，可使用
六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進(jìn)行電氣
連接。
特性
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用，*安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技
術(shù)，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣
電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，
隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測(cè)到電容變化，
并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線(xiàn)性直流電信號(hào)。 Setra *的定
制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/
RFI 干擾。
在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受
去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓伞㈦p層包裝、氮?dú)?/span>
充注和密封等處理，蕞后才發(fā)貨。
注 ： Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品
的標(biāo)定具有 NIST 可追蹤性，美國(guó)磚利號(hào)。
