響應(yīng)式氣體流量控制，適用于高壓應(yīng)用

MCQ系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應(yīng)用環(huán)境進行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的MFC構(gòu)建IP66等級防護。

更多產(chǎn)品信息請查看質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-10 sccm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調(diào)比：50:1
• 校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：305 psig（320 psia）
• 耐受壓力：400 psig（415 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件