硅晶圓材料超純水設備定制找哪家廠家
硅晶圓材料超純水設備介紹:
由于硅晶圓材料是高技術(shù)產(chǎn)品,所以對清洗產(chǎn)品的用水質(zhì)量非常嚴格,稍有不慎,就可能導致生產(chǎn)的產(chǎn)品不符合國家規(guī)定的標準,所以在選擇水處理設備時,超純水設備是該類行業(yè)的目標。電子清洗用超純水設備內(nèi)有多種水處理裝置,它們能夠有效的去除水中的雜質(zhì)、細菌、病毒等有害物質(zhì),保證設備的出水水質(zhì)良好,同時滿足電子行業(yè)對電子產(chǎn)品清洗的用水要求。
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硅晶圓材料超純水設備原理:
離子交換是一種特殊的固體吸附過程,它是由離子交換劑的電解質(zhì)溶液中進行的。一般的離子交換劑是一種不溶于水的固體顆粒狀物質(zhì),即離子交換樹脂。它能夠從電解質(zhì)溶液中吸取某種陽離子或者陰離子,而把自身所含的另外一種帶相同電荷符號的離子等量地換出來,并釋放到溶液中去,這就是所謂的離子交換。按照所交換離子的種類,離子交換劑可分為陽離子交換劑和陰離子交換劑兩大類
硅晶圓材料超純水設備廠家:
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2.我們公司在水處理行業(yè)已經(jīng)有很多年的歷史了,這么多年來我們公司一直專注硅晶圓材料超純水設備的研發(fā),目前我們已經(jīng)有了自己的核心技術(shù)和硅晶圓材料超純水設備處理工藝,我們公司所出售的硅晶圓材料超純水設備已經(jīng)超過上萬臺,服務過的公司更是數(shù)不勝數(shù),這得是獲得客戶的認同的證名。
3.我們有著專業(yè)的技術(shù)團隊,可以快速的響應客戶在使用硅晶圓材料超純水設備時反饋的問題,并且可以提供遠程指導,視頻指導,現(xiàn)場指導等等方式,直到幫助客戶解決所遇到的問題
硅晶圓材料超純水設備進水要求:
項 目 | 技 術(shù) 要 求 |
給水 | RO產(chǎn)水, 電導率≤20μs/cm (建議<10μs/cm ) |
PH值 | 6.0 ~ 9.0 (建議7.0 ~ 9.0 ) |
水溫 | 5 ~ 35℃ |
硬度(以CaCO3計) | < 0.5 ppm |
有機物 | < 0.5 ppm ,TOC建議值為零 |
氧化物 | ≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),兩者為零 |
Fe、Mn | ≤0.01ppm |
二氧化硅 | < 0.5 ppm |
二氧化碳 | < 5 ppm |
油和油脂 | 檢不出 |
硅晶圓材料超純水設備特點:
1、系統(tǒng)所用的超純水膜,采用膜表面高分子嫁接技術(shù),不僅耐酸堿清洗、抗高污染,還可以加快離子遷移速度,使產(chǎn)水TOC在20PPB以下。
2、系統(tǒng)穩(wěn)定自動化程度高,產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定。采用PLC智能化程序,用戶能靈活方便地進行操作。
3、各項指標監(jiān)測嚴格,國內(nèi)只有極少數(shù)公司可達到美標超純水出水指標。
硅晶圓材料超純水設備工藝流程:
1.預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥18MΩ.CM)
2.預處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲透膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥17MΩ.CM)
3.預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥15MΩ.CM)
硅晶圓材料超純水設備的原理及步驟
原水:可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
機械過濾:通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質(zhì),如鐵銹和其他懸浮物等。
活性炭過濾:活性炭是廣譜吸附劑,可吸附氣體成分,如水中的余氯等,吸附細菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜,因此應力求除盡。
反滲透膜過濾:可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除,使離子交換柱的使用壽命大大延長。
紫外線消解:借助于短波(180nm-254nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物,如甲醇、乙醇等,使其轉(zhuǎn)變成CO2和水,以降低TOC的指標。
離子交換單元:已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級混床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標主要來自樹脂床。
硅晶圓材料超純水設備使用維護:
1、通過觀察RO出水電導率、高壓泵的開關(guān)、進出水流量、壓力等參數(shù)了解設備的運行工況。
2、反滲透高壓泵進口設低壓保護器,當高壓泵進水壓力<0.1Mpa時,高壓泵自動停止工作。
3、反滲透高壓泵出口設高壓傳感器,當工作壓力大于某一設定值,高壓泵停止運行,以防損壞后級管道及膜元件。
4、硅晶圓行業(yè)超純水設備的進水、濃水、淡水閥:主要調(diào)節(jié)RO進水量、產(chǎn)水量、進水壓力、濃水壓力及回收率。
5、硅晶圓行業(yè)超純水設備的電導儀:電導儀用于監(jiān)測RO進出水電導率的變化情況。
6、硅晶圓行業(yè)超純水設備的高壓泵:增壓滿足RO膜元件進水壓力要求。
7、硅晶圓行業(yè)超純水設備的液位自控:主要用于防止停水情況下,高壓泵繼續(xù)運行而使高壓泵損壞,另一作用是如中間水箱高位時,可使RO停止運行,防止純水箱溢流。