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吉時利S500綜合測試系統(tǒng)是基于儀 器的、可高度配置的系統(tǒng),適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導體特性分析。S500 綜合測試系統(tǒng)基于已被證明的2600系列 系統(tǒng)數(shù)字源表源測量單元(SMU),提供 創(chuàng)新的測量特性與系統(tǒng)靈活性,可以根據(jù)需求進行升級。其*的測量能力, 再加上強大而靈活的自動特性分析套 件(ACS)軟件,為客戶提供全面的應用 范圍和特性,這是市場上競爭產(chǎn)品所不具備的。
表1 2600B軟件工具
特征/功能 | ACS Basic版本 | 基于Java即插即用軟件 | Test Script Builder (TSB) |
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說明 | 半導體特性分析軟件, 用于元件測試、驗證 與分析 | 迅速啟動的、基于Java即插即用軟件工具,支持快速和容易的I-V測試,主要用于臺式和實驗室用戶 | 為TSP儀器定制的腳本編寫工具 |
支持的硬件 | 2400系列、2600B系列、4200-SCS | 2600B系列 | 2600B系列,3700系列 |
支持的總線 | GPIB, LAN/LXI | LAN / LXI | GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB |
功能 | 基于向?qū)У闹庇X圖形用戶接口(GUI),豐富的測試測試庫和曲線跟蹤能力 | 直線/對數(shù)掃描、脈沖、自定義掃描、單點源測量注意:可使用2600B的新API實現(xiàn)精確定時和通道同步 | 總體靈活的自定義腳本,功能齊全的調(diào)試器 |
數(shù)據(jù)管理 | 公式工具,包括多種數(shù)學函數(shù) | .csv文件導出 | 用戶定義 |
安裝 | 選購 | 不需要。內(nèi)嵌在儀表中 | 免費下載或CD提供,安裝在PC上 |
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