全套機(jī)組由羅茨泵、旋片泵、管道、閥門(mén)、電控箱等組成。其極限壓力可達(dá)5.0＊ 10-2Pa 高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組是以高真空油擴(kuò)散泵為主泵的一套完整的抽氣系統(tǒng)，擴(kuò)散泵采用五級(jí)拉伸技術(shù)，泵的極限壓力5.0＊ 10-5Pa，返油率低，抽速大，高真空機(jī)組極限壓力可達(dá)3.0＊ 10-4Pa。
高真空油擴(kuò)散泵機(jī)組被廣泛的應(yīng)用于電子、冶金、化工、原子能工程及空間模擬等領(lǐng)域。
高真空油擴(kuò)散泵性能指標(biāo)：
型 號(hào) ； ； ； ； ；極限壓Pa ； ； ； ；抽速L/s ； ； ；主泵加熱功率kW
KT-200 ； ； ； ；8.0×10-5 ； ； ； ；2000 ； ； ； ； ； ；1.8
KT-300 ； ； ； ；8.0×10-5 ； ； ； ；4500 ； ； ； ； ； ；3
KT-320 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；5000 ； ； ； ； ； ；4
KT-400 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；8000 ； ； ； ； ； ；4.5
KT-500 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；12500 ； ； ； ； ；6.9
KT-600 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；18000 ； ； ； ； ；8.4
KT-800 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；28000 ； ； ； ； ；16
KT-1000 ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；40000 ； ； ； ； ；24