50A型SERIES
→低價(jià)格,高性能
→MT-50A模擬式系列
→熱式之質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器
概要:
MT-50A系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器,
分流器通道,流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)
管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)爾制成
采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流
量,可以不受溫度壓力的影響,將傳感器測(cè)得得流
量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓值進(jìn)行比較,
用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制
流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
●標(biāo)準(zhǔn)
本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
MT-50A | □ | □ | - | □□□ | - | □□□ | - | □ | □ | □ | |||
型式 | A | 模擬式 | |||||||||||
B | 數(shù)字式 | ||||||||||||
功能 |
| M | 流量計(jì) | ||||||||||
C | 流量控制器 | ||||||||||||
流量范圍 |
| ABC |
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氣體種類(lèi) |
| 013 | N2 | ||||||||||
008 | Air | ||||||||||||
015 | O2 | ||||||||||||
004 | Ar | ||||||||||||
025 | CO2 | ||||||||||||
001 | He | ||||||||||||
FFF | 其他 | ||||||||||||
接頭 | 1/4”VCR | 1 |
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1/2”VCR | 2 | ||||||||||||
3”SWL | 3 | ||||||||||||
6”SWL | 4 | ||||||||||||
其他 | F | ||||||||||||
訊號(hào) | DC 0~5V | 1 |
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其他 | 2 | ||||||||||||
電源 | 24V | 1 |
SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條 產(chǎn)品尺寸182×40×125mm
件和命名方法。
質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。 型號(hào)選型
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)
SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度--273.15K( 0℃ )
氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿量程值
特點(diǎn):
MT-50A系列可應(yīng)用在30SLM-200SLM的氣體流量范圍
并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響,應(yīng)用范圍廣
●模擬式質(zhì)量流量計(jì)/控制器
·低單價(jià) ·環(huán)境溫度補(bǔ)正 ·可應(yīng)用流量范圍廣
·0-5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
·0-1, 3 , 5 , 10, 20 , 30,100,200SLM
●高精度
·±1%F.S(≤15SLM) ·±2%F.S(>15SLM)
●小體積
●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配
套使用。
●輸入,輸出,供電
·輸入設(shè)定電壓…………4-20mA
·輸出電壓檢測(cè)…………4-20mA
●基本參數(shù)
功能 | 流量計(jì)/控制器 | |
基本型號(hào) | MT-50A | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200 | |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(>15SLM.) | ||
控制閥動(dòng)作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±2%(>15SLM.) | ||
重復(fù)精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應(yīng)時(shí)間(sec) | ≤3 | |
流量輸出信號(hào) | 4-20mA | |
流量設(shè)定信號(hào) | 4-20mA | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.3 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
大耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |