LY-WN-MX4R系列為型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查2)金相顯微鏡(明暗場、偏光、微分干涉DIC)
MX4R系列機型采用4寸、6寸平臺設計,可適用于相應尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查 l 特點1)MX4R金相顯微鏡(明暗場、偏光、微分干涉DIC)
系列,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美 2)MX4R系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差
技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源3)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于
明場、簡易偏光、微分干涉觀察 技術參數(shù) (以下參數(shù)根據(jù)客戶實際需求配置)
配 置 | 參 數(shù) |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方法 | 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
觀 察 筒 | 30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或50:50 |
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 |
轉 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉換器,帶DIC插槽 |
物 鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm | |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm | |
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm | |
調(diào)焦機構 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001,帶粗調(diào)機構上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 |
載 物 臺 | 4寸雙層機械移動平臺,行程105X105mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪 6寸三層機械移動平臺,行程158X158mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動(選配) 另可選配:8寸移動平臺 |
照明系統(tǒng) | 反射:帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿;單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào); 透射:單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào);帶可變孔徑光闌 可選配鹵素光源照明 |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
CTV接口 | 1X、1/2X |