G200M，G150M和G150S立式平面干涉儀
適用于計量機構檢定和校準光學平晶。其集 高性能、長壽命氦氖激光器，1-6.7倍圖像放大功能，高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，精密平面 標準鏡等一系列高精技術，通過優(yōu)化光學系統(tǒng)和機械系統(tǒng)結構，實現(xiàn)高精密平面光學元件的測量。
G200M，G150M和G150S激光平面干涉儀為正立式結構，通光口徑分別為200mm和150mm。 G200M彌補了國內(nèi)使用有效口徑150mm的干涉儀測試大尺寸光學系統(tǒng)和光學元件不能全口徑測試的不足，改善提高了大口徑光學系統(tǒng)和光學元件測試精度。G200M，G150M和G150S立式平面干涉儀
G150M型平面干涉儀專為計量級測試的需求設計，適用于計量機構檢定和校準光學平晶。其集 高性能、長壽命氦氖激光器，1-6.7倍圖像放大功能，高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，精密平面 標準鏡等一系列高精技術，通過優(yōu)化光學系統(tǒng)和機械系統(tǒng)結構，實現(xiàn)高精密平面光學元件的測量。
G150S為G150M的簡化版本，適合光學車間的現(xiàn)場檢驗。G200M，G150M和G150S立式平面干涉儀
主要用途：平面類光學元件（包括玻璃、金屬、陶瓷等）表面面形、光學平行度和材料均勻性的 測試；準直系統(tǒng)波前質(zhì)量的測試。
儀器規(guī)格參數(shù)表
產(chǎn)品型號 | G200M | G150M | G150S |
測量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口徑 | 200mm | 152.4mm（6英寸） | 152.4mm（6英寸） |
標準鏡材料 | 熔石英（康寧7980） | 熔石英（康寧7980） | 熔石英（康寧7980） |
光源 | 氦氖激光（632.8nm） | 氦氖激光（632.8nm） | 半導體激光（635nm） |
連續(xù)變焦倍數(shù) | 1-6.7倍 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切換 | 對準（十字叉絲）與測試（干涉場）模式電控切換 | ||
顯示方式 | 計算機或獨立監(jiān)視器實時顯示 | ||
平面透過標準鏡 | PV：優(yōu)于λ/15 | PV：優(yōu)于λ/20，可定制更高精度標準鏡 | |
平面反射標準鏡 | 選配 | 標配 | 選配 |
衰減過濾片 | 選配 | 選配 | 選配 |
儀器尺寸·(長X寬X高) | 550X550X1100mm | 550X550X1070mm | 550X550X1070mm |
儀器重量 | 100KG | 80KG | 80KG |
電源 | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz |
氣浮平臺（長X寬） | 標配(1200X600mm) | 標配（1200X600mm） | 選配 |
