天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)AEROTECH空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)-ABRS150MP
AEROTECH空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)-ABRS150MP
產(chǎn)品介紹:
直接驅(qū)動(dòng),無(wú)槽,無(wú)刷伺服電機(jī)
零齒槽電機(jī), 速度穩(wěn)定性
誤差運(yùn)動(dòng)和擺動(dòng)性能
直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
薄型平面設(shè)計(jì)
沒(méi)有機(jī)械接觸
Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺(tái)以超薄的外形提供了角度定位,速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動(dòng)性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查,高精度計(jì)量,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。
機(jī)械設(shè)計(jì)
ABRS設(shè)計(jì)具有大的空氣軸承表面,具有很高的剛度和承載能力,不僅產(chǎn)生 軸向和徑向誤差運(yùn)動(dòng),而且產(chǎn)生 的傾斜誤差運(yùn)動(dòng)。所產(chǎn)生的面誤差運(yùn)動(dòng)明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺(tái)和主軸, 受益于需要 平面性能的應(yīng)用。
無(wú)刷直驅(qū)
為了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列無(wú)槽無(wú)刷電機(jī)。電機(jī)采用磁路設(shè)計(jì),可產(chǎn)生高扭矩輸出,而產(chǎn)生的熱量 少。無(wú)槽設(shè)計(jì)本質(zhì)上是零齒槽和無(wú)轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺(tái)非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。
準(zhǔn)確定位
光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時(shí),分辨率可達(dá)到<0.03弧秒。
定制設(shè)計(jì)
定制版本的ABRS可用于費(fèi)率表和慣性制導(dǎo)試驗(yàn)臺(tái)應(yīng)用。
參數(shù):
寬度:150 mm
桌面直徑:128.1 mm
高度:80 mm
孔徑:8 mm
總行程:360°連續(xù)
總線電壓:80 VDC
基本編碼器分辨率:3600行/轉(zhuǎn)
隨著我國(guó)工業(yè)自動(dòng)化水平、高科技產(chǎn)品的高速發(fā)展,我們意識(shí)到引進(jìn)新技術(shù)和高科技產(chǎn)品的重要性。所以,瑞利光電自成立之初便憑借著對(duì)國(guó)內(nèi)和市場(chǎng)的深入調(diào)研和了解,在經(jīng)營(yíng)理念、管理制度、貿(mào)易接洽、人才任用等方面都擁有較大的競(jìng)爭(zhēng)力,并確立了明確的戰(zhàn)略目標(biāo)。
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