SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過測(cè)量基底反射的偏振光,進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
波長(zhǎng)范圍: | 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
光學(xué)分辨率 | 4.0 nm FWHM |
測(cè)量精度 | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角 | 70° |
膜厚 | 單透明膜1-5000 nm |
光點(diǎn)尺寸 | 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
采樣時(shí)間 | 3-15s (小) |
動(dòng)態(tài)記錄 | 3 seconds |
膜層數(shù) | 至多32層 |
參考 | 不需要 |