系統(tǒng)包括手動四點探針臺、二個四點探針頭、吉時利儀表(Keithley 2400)與軟件,以及一臺筆記本電腦 .
Pro4-840N configuration (系統(tǒng)架構)
l 電壓與電流(V/I)的量測結(jié)果會記錄在軟件內(nèi).
l 系統(tǒng)采用了美國ASTM 標準F84-99
l 測試方法的雙架構測試方式以補償因為四點探針頭間距可能不精確或量測接近導電層邊緣而造成的量測誤差.
l Signatone 同時也提供準確度可追朔至美國國家標準局(NIST)的校準片,適當?shù)氖褂眯势蚎uadPro 提供的校準程序,可確保系統(tǒng)的準確性優(yōu)于1%.
l Pro4-840N 系統(tǒng)的標準范圍是1mΩ/□至800KΩ/□.
主要參數(shù):
探針臺尺寸:針對10-200mm 樣片;
吉時利儀表(Keithley 2400),量程范圍:1 m? (1x10-3)/□ to 800 K?(800x10+3)/□
Pro4 Software (軟件)
使用者只需輸入待測樣品的大小、形狀、待測樣品邊緣不包括部分的大小與量測點數(shù),Pro4 軟件會控制系統(tǒng)的量測、量測資料的擷取、顯示、打印與資料的輸出(Export),使用者可設定要顯示的參數(shù)(如電阻、片電阻或電壓/電流),也可以定義良品/不良品(Pass/Fail)的條件.
量測點會在軟件上以圖樣標示出來,同時提醒使用者將探針移至待測點.
量測結(jié)束,量測數(shù)據(jù)的平均值、標準差、大值與小值會被標示出來,同時可打印
量測數(shù)據(jù)含良品/不良品的報表.
- 變溫四探針電阻率測試儀的開發(fā)及本科教學實踐