系統(tǒng)包括手動四點(diǎn)探針臺、二個四點(diǎn)探針頭、吉時利儀表(Keithley 2400)與軟件,以及一臺筆記本電腦 .
Pro4-840N configuration (系統(tǒng)架構(gòu))
l 電壓與電流(V/I)的量測結(jié)果會記錄在軟件內(nèi).
l 系統(tǒng)采用了美國ASTM 標(biāo)準(zhǔn)F84-99
l 測試方法的雙架構(gòu)測試方式以補(bǔ)償因為四點(diǎn)探針頭間距可能不精確或量測接近導(dǎo)電層邊緣而造成的量測誤差.
l Signatone 同時也提供準(zhǔn)確度可追朔至美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)的校準(zhǔn)片,適當(dāng)?shù)氖褂眯?zhǔn)片和QuadPro 提供的校準(zhǔn)程序,可確保系統(tǒng)的準(zhǔn)確性優(yōu)于1%.
l Pro4-840N 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)范圍是1mΩ/□至800KΩ/□.
主要參數(shù):
探針臺尺寸:針對10-200mm 樣片;
吉時利儀表(Keithley 2400),量程范圍:1 m? (1x10-3)/□ to 800 K?(800x10+3)/□
Pro4 Software (軟件)
使用者只需輸入待測樣品的大小、形狀、待測樣品邊緣不包括部分的大小與量測點(diǎn)數(shù),Pro4 軟件會控制系統(tǒng)的量測、量測資料的擷取、顯示、打印與資料的輸出(Export),使用者可設(shè)定要顯示的參數(shù)(如電阻、片電阻或電壓/電流),也可以定義良品/不良品(Pass/Fail)的條件.
量測點(diǎn)會在軟件上以圖樣標(biāo)示出來,同時提醒使用者將探針移至待測點(diǎn).
量測結(jié)束,量測數(shù)據(jù)的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、大值與小值會被標(biāo)示出來,同時可打印
量測數(shù)據(jù)含良品/不良品的報表.
- 變溫四探針電阻率測試儀的開發(fā)及本科教學(xué)實(shí)踐