Setra西特227系列純氣體壓力傳感器Setra西特227系列純氣體壓力傳感器
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì),能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號(hào)占用空間僅11/8″,能節(jié)省寶貴的空間;結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,是要求*穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測(cè)量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同,Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計(jì)。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra(大7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機(jī)
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)要求
·符合RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
性能參數(shù) | 物理參數(shù) | |||
精度RSS1(恒溫下) | ±0.25%FS或±1.0%讀數(shù) | 殼體 | 不銹鋼 | |
非線性(加擬合直線) | ±0.15%FS | 電氣連接 | 6英尺多芯電纜、卡口或9針/15針D-SUB接頭 | |
遲滯 | 0.20%FS | |||
非重復(fù)性 | 0.02%FS | 壓力接口 | 朝下安裝的C型或W型密封 | |
溫度影響2 | 通氣 | 零點(diǎn)/量程調(diào)整裝置的檢修孔 | ||
溫度補(bǔ)償范圍 | -9~65℃ | 重量 | 約184g | |
零點(diǎn)/滿程漂移 | 1.8%(%FS/100℃) |
|
| |
電氣參數(shù)(電流) | 電氣參數(shù)(電壓型) | |||
電路 | 2線 | 電壓 | 3線(COM,OUT,EXC) | |
輸出6 | 4~20mA7 | 輸出4 | 0~5VDC或0.2~5.2VDC5 0~10VDC或0.2~10.2VDC5 | |
外部負(fù)載 | 0-800Ω | |||
小供電電壓(VDC) | 10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻) | 激勵(lì) | 5V FSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC 10V FSO(滿量程輸出)時(shí)為13~30VDC | |
大供電電壓(VDC) | 30+0.004x(接收器附加掉線電阻) | |||
環(huán)境參數(shù) | 電流消耗 | ﹤8mA | ||
工作溫度3 | -40℃~+85℃ | 壓力介質(zhì) | ||
存放溫度 | -40℃~+85℃ | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 | ||
電流輸出型(訂購N1選項(xiàng)時(shí))工作/儲(chǔ)存溫度 | -30℃~+80℃ | 1.非線性、遲滯、非重復(fù)性的方和根 2.產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來 3.電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低 4.采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)載≥5KΩ時(shí)工作 5.零點(diǎn)(滿量程)輸出;對(duì)于5VDC輸出,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi)對(duì)于10VDC輸出,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi) 6.出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,24VDC電源 7.零點(diǎn)(滿量程)輸出:出廠設(shè)置在±0.8BmA以內(nèi) | ||
認(rèn)證 | ||||
不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證; | ||||
北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/SA-12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū)A、B、C、D組危險(xiǎn)區(qū)域 | ||||
歐洲:可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/EC2區(qū)認(rèn)證或 WN60079-15:20 10 11 3G Ex nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證 |