Brooks質(zhì)量流量計(jì)儀表應(yīng)用:
1.光端機(jī)。
2.LED/MOCVD。
3.半導(dǎo)體。
4.太陽能。
Brooks質(zhì)量流量計(jì)儀表特點(diǎn):
1.長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性,每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%。
2.能夠根據(jù)命令變化在 3 秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計(jì)。
3.流量范圍寬 - 3 sccm 至高達(dá) 30,000 slpm。
4.高壓額定值 - 高達(dá) 1,500 psi。
5.可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝 - 5? 英寸 Ra(平均值)。
6.可拆卸式流量傳感器。
7.不受安裝角度影響。
8.其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容。
9.TTL 兼容型"閥關(guān)閉"和吹掃功能。
Brooks質(zhì)量流量計(jì)儀表優(yōu)勢(shì):
1.全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
2.在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
3.由于性能可靠,因此投資回報(bào)率出眾。
4.采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對(duì)氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)。
5.由于模擬量?jī)H為輸入/輸出,因此易于安裝和保養(yǎng)。