D40B旋片萊寶真空泵報價,品牌:萊寶(Leybold)
產(chǎn)品編碼:11346
抽速 (50 Hz):40 m³/h
抽速 (60 Hz):48 m³/h
極限壓強:2 x 10?³ mbar
雙級旋片真空泵TRIVAC D 40 B
TRIVAC B是基于旋轉(zhuǎn)葉片原理的油封真空泵。 注入the室的油用于密封,潤滑和冷卻。 泵體由不帶密封元件的單個零件組成。 將它們固定以確保輕松拆卸和組裝。
D40B旋片萊寶真空泵報價
環(huán)保的
安靜
無振動運行節(jié)能
節(jié)約能源
低功耗
低發(fā)熱量
現(xiàn)代真空技術(shù)
高達終壓力的高抽速
即使使用氣鎮(zhèn),終壓力也很低
高水蒸氣耐受性
即使在1000 mbar時也可以連續(xù)運行
內(nèi)置油泵,正潤滑滑動軸承
小的進氣
高密封性(4He能力)
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TRIVAC E and B 系列雙級油封旋片泵
德國萊寶真空泵D40B,的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:1.6m3/h~65m3/h
極限真空度:10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓)
2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強)
5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強)
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar
德國萊寶真空泵D40B,的主要特點:
1、內(nèi)置油泵,對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續(xù)工作.
2、內(nèi)置自動防返油閥,可在停泵時自動將進氣口截止,防止返油。
3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、*的耐水蒸汽能力。
另外,歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
> 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
> 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX,ATEX認證防爆泵。
> 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
真空泵目前應(yīng)用越來越廣泛,尤其是在半導(dǎo)體、化工等一些工況可能比較惡劣的應(yīng)用行業(yè)里。今天就來講一講,在真空泵應(yīng)用中防止泵內(nèi)出現(xiàn)顆粒物的解決方法:
1、適當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù),隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產(chǎn)的氯化鋁,在對應(yīng)壓力下,其在80℃就會開始氣化,因此在將泵內(nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。
2、降低會反應(yīng)氣體的濃度。單位時間內(nèi)氣體反應(yīng)生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關(guān),所以在真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體,減少反應(yīng)氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個方法也會用內(nèi)溫度冷卻,防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等,也可以防止介質(zhì)達到著火極限等可能,如CVD工藝中可能的爆炸。
3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積,使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度,就可保證顆粒物隨氣流輸送排出,防止沉積。具體的方法與第2點一樣,在不影響真空泵的極限壓力的前提下,就是充入適量氣體。