ESA型基于EBARA強大的羅茨泵技術構建。ESA200W型和更大型號適合LCD，光伏制造設備等行業(yè)中大容積腔室的快速抽空要求。ESA25-D型和ESA70W型干式真空泵是MO-CVD應用中安裝量大的基礎泵。ESA型干式真空泵還具有用于高氣體負荷的智能旋轉順序和*的互鎖功能。
特征
?理想的設計，可在大容積腔室中快速抽氣
?智能轉子轉速控制功能，可靈活處理氣體。
?大直徑的轉子可實現(xiàn)緊湊的泵單元尺寸
?可選排氣配置可用于有機溶劑應用
?*的警告和警報數(shù)據(jù)存儲功能
?用于警告設置的手動功能（可通過LCD控制器編程）
?提供SEMI-S2 / CE標記/ NRTL
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 多用循環(huán)水式真空泵 | ￥3180 | 鄭州市 | 鄭州長城科工貿(mào)有限公司 | 2025-02-27 | 在線詢價 |
| 循環(huán)水真空泵\循環(huán)水多用真空泵 | 面議 | 常州市 | 常州金壇精達儀器制造有限公司 | 2024-12-09 | 在線詢價 |
| 德國BECKER真空泵DVT 3.140 | ￥100 | 上海市 | 上海荊戈工業(yè)控制設備有限公司 | 2025-03-04 | 在線詢價 |
| 進口KINNEY液環(huán)真空泵 | ￥1000 | 天津市 | 天津克萊瑞科技有限公司 | 2024-05-13 | 在線詢價 |
| 隔膜真空泵 測試儀 | ￥900 | 上海市 | 上海誠衛(wèi)儀器科技有限公司 | 2024-04-03 | 在線詢價 |
| 真空泵 測試儀 | ￥900 | 上海市 | 上?；諠詣踊O備有限公司 | 2024-09-05 | 在線詢價 |
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