主要特點(diǎn):
清洗效率高(射頻功率50W)
等離子體和紫外線雙重清洗
高真空模式下運(yùn)行,真空范圍大
無損清洗
無需特殊氣源
兼容SEM、FIB等設(shè)備
操作方式 | 桌面按鈕控制 |
遠(yuǎn)程遙控 | 支持安卓平板電腦或藍(lán)牙控制 |
尺寸 | 44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D) |
射頻功率 | 20 - 75 W (13.56 MHz RFHC) |
電源 | 100 – 240 VAC 50/60 Hz |
標(biāo)準(zhǔn) | 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn) |