天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器-SIT-200
? 品牌名稱：ALNAIR
? 規(guī)格型號：SIT-200
天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器-SIT-200
• 品牌名稱：ALNAIR
• 規(guī)格型號：SIT-200
日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器-SIT-200
產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量
SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進(jìn)行更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數(shù)
測量對象：硅片
可測厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級1 mW
引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級1M
測量時間：min.20 ms
重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm
監(jiān)控輸出：干擾信號（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
電源：AC 100-240（50/60 Hz）V
尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm
瑞利光電擁有一支年輕的團(tuán)隊，相關(guān)人員知識經(jīng)驗豐富，熟悉貨幣度量衡，商業(yè)習(xí)慣，貨物運(yùn)輸與保險等政策，在處理貿(mào)易接洽等問題上，能夠采用合理的處理方式，根據(jù)國內(nèi)外相關(guān)法律法規(guī)、市場競爭現(xiàn)狀和發(fā)展態(tài)勢來服務(wù)客戶。
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