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  • 美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π2-CYGNI光刻系統(tǒng) 真空泵

π 2 -CYGNI 美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π2-CYGNI光刻系統(tǒng) 真空泵

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  • 型號π2-CYGNI
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-11-30
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限10
  • 產(chǎn)品數(shù)量184
  • 人氣值3731
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美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)
美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π2-CYGNI光刻系統(tǒng) 真空泵 產(chǎn)品詳情

美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)

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簡述:使用新型的172nm 的波長。不需要傳統(tǒng)的光刻膠,對幾乎任何的有機(jī)聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時(shí)間。高分辨率、高強(qiáng)度、高效率、低成本。在實(shí)驗(yàn)室就可以實(shí)現(xiàn)光刻,而無需到半導(dǎo)體工廠,使用大型和昂貴的刻蝕機(jī)。操作簡單,幾乎無需培訓(xùn)。

美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)特點(diǎn):

•新一代紫外波長:172 nm

•光源技術(shù):平面微腔陣列發(fā)光

•同類的輸出強(qiáng)度: >10mW/cm2

•無需光刻膠,可對幾乎所有有機(jī)聚合物直接曝光

•無需超凈間,無需預(yù)熱,無需冷卻,無需復(fù)雜培訓(xùn),幾乎""維護(hù)

•杰出的光束均勻度:可用光圈的3

•壽命長:3000小時(shí)曝光,曝光高達(dá)60,000(3分鐘/), 使用可達(dá)10

•綠色技術(shù):無汞等有毒易燃?xì)怏w和物質(zhì); 高電-光轉(zhuǎn)換率,節(jié)能省電;

•小巧,方便,耐用高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)了新的可能性

高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)新的可能性

革命性的采用全新的燈泡,具有高功率,出色的均勻性和多功能性,效率高并且設(shè)計(jì)緊湊,采用模塊化形式! 172 nm創(chuàng)造性的引入π2 -CYGNI系列真空紫外線處理系統(tǒng)。

172納米 全新光處理體系

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傳統(tǒng)172 nm光源的低輸出功率阻礙了該波長在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用。 π2-CYGNI 克服了這一障礙,并展示了172 nm的真正實(shí)力- 全新化學(xué)驅(qū)動(dòng),反應(yīng)方式和處理技術(shù)。 紫外線不僅僅用于光刻和固化!

全新功率驅(qū)動(dòng)

紫外線弧光燈能提供高平均功率, 準(zhǔn)分子紫外線源提供高光子通量。 π2-CYGNI 提供高平均功率和高光子通量- 無需有源或外部冷卻。 把高功率和高光子通量這種*組合,封裝在手掌大的盒子中,實(shí)現(xiàn)其他光源無法完成的大面積反應(yīng)和處理。

全新弧光技術(shù)

每套 π2-CYGNI系統(tǒng)的核心是它超薄的(< 4 mm)平面微腔放電燈。 與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比,這種廣域照射產(chǎn)生了的均勻性,同時(shí)又消除了對復(fù)雜聚光,準(zhǔn)直和均化等光學(xué)器件的要求。

綠色環(huán)保的紫外線(UV)

在π2-CYGNI系統(tǒng)之前,產(chǎn)生紫外線通常意味著產(chǎn)生有毒物質(zhì),低轉(zhuǎn)換率和高設(shè)備成本。 π2-CYGNI 通過環(huán)保且節(jié)能的解決方案突破這些障礙。 π2-CYGNI 的制造和使用過程不使用有毒材料,在生產(chǎn)中使用π-CYGNI 可以減少化學(xué)材料和水的消耗。 有效的降低使用成本,僅是使用其他172 nm光源成本的一小部分。

美國實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)參數(shù):

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