熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),可測(cè)量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),如:熱擴(kuò)散系數(shù)、導(dǎo)熱系數(shù)、蓄熱系數(shù)和界面熱阻。由于激光閃射時(shí)間僅為納秒(ns)量級(jí),甚至可達(dá)到皮秒(ps)量級(jí),此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm 的薄膜。同時(shí),系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式,以適應(yīng)不同的基片情況(透明/ 不透明)。
技術(shù)參數(shù):
NanoTR | ||
溫度范圍 | RT | |
測(cè)量模式 | RF/FF | |
樣品尺寸 | 10*10mm … 20*20mm | |
薄膜厚度 | RF: 金屬:1 … 20μm 陶瓷:300nm … 5μm 聚合物:30nm … 2μm FF:> 1μm | |
基片厚度 | < 1 mm | |
熱擴(kuò)散溫升時(shí)間 | 10ns … 10μs | |
熱擴(kuò)散系數(shù)(mm2/s) | 0.01…1000mm2/s | |
操作系統(tǒng) | Windows 7 |