SPECTRUM 高分辨率輝光放電光譜儀 GDA 750/GDA 550，多達(dá)79個(gè)分析通道，采用PMT檢測(cè)器，GDA 750/GDA 550型輝光放電光譜儀是高分辨率、高靈活性和高分析精度的儀器，同時(shí)可安裝*的高分辨率CCD光學(xué)系統(tǒng)(選裝件)，允許同時(shí)分析所有元素，具備全譜功能，也可在現(xiàn)有的方法中添加任一元素的任一譜線。

   這種靈活性在實(shí)際分析中，尤其對(duì)于元素含量和深度測(cè)定中至關(guān)重要。所有元素，包括輕元素(H，O，N，CI，和C)均可測(cè)定。

   在含量-深度測(cè)量中，分析深度可達(dá)200um以上， 層分辨率可達(dá)1納米。GDA 750/GDA 550也可進(jìn)行基體總量分析，尤其對(duì)于復(fù)雜基體，具備優(yōu)異的線性校準(zhǔn)曲線。檢出限可達(dá)亞ppm級(jí)。

   GDA 750/GDA 550裝備有新一代的輝光激發(fā)光源，濺射直徑從1mm至8mm。采用通用樣品夾具，也可進(jìn)行小樣品和異形樣品的分析，無(wú)需更換特殊電極。

   GDA 750也可選裝配置脈沖式射頻光源(選裝件)，用于分析非導(dǎo)體材料。采用脈沖式射頻光源后，可分析非導(dǎo)體、熱敏感樣品，如：陶瓷、玻璃、有機(jī)涂層、有機(jī)薄膜。還可選裝配置特殊樣品轉(zhuǎn)移室(選裝件)，用于分析極薄的薄膜和在空氣中易氧化的薄膜。

激發(fā)光源
-同一激發(fā)光源允許安裝直徑為1mm至8mm電極，從而保證穩(wěn)定性和重復(fù)性
高效的樣品直接冷卻?？芍苯臃治鰺崦舾袠悠?、極薄的金屬薄膜和有機(jī)薄膜。如可直接分析50um的不銹鋼薄膜
-優(yōu)化的氬氣流量控制，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)低檢出限和高深度分辨率
-專門設(shè)計(jì)的自動(dòng)清掃裝置，保證了高精度、高重復(fù)性測(cè)量
-大樣品分析厚度45mm，小厚度50um
-*程序自動(dòng)控制的直流光源(DC)，電壓高可達(dá)1500V，電流250mA
-*程序自動(dòng)控制的射頻光源(RF)，功率大150W，電壓、電流自動(dòng)監(jiān)控，實(shí)時(shí)等離子自動(dòng)調(diào)節(jié)、脈沖工作模式(選裝件、僅GDA 750有效)
-選裝件：自動(dòng)進(jìn)樣器，程序控制100位

光學(xué)系統(tǒng)
-光譜分辨率優(yōu)于20pm(FWHM)
-光譜范圍：190nm--800nm
-Paschen-Runge光學(xué)系統(tǒng)， 焦距750mm
-全息原刻光柵，2400線/mm
-出射狹縫，預(yù)設(shè)所有元素通道
-可同時(shí)安裝63個(gè)分析通道，選用選裝件(400mm)，可再附加16個(gè)分析通道
-方便易操作的透鏡清潔，可立即進(jìn)行分析
-優(yōu)化的檢測(cè)器高壓系統(tǒng)，定量測(cè)試時(shí)，線性動(dòng)態(tài)范圍106
-檢測(cè)器增益自動(dòng)調(diào)節(jié)
-選裝件：高性能CCD光學(xué)系統(tǒng)， 光譜范圍200nm--800nm。光譜分辨率可達(dá)0.02nm(FWHM)。與主光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)工作
-CCD光學(xué)系統(tǒng)可無(wú)限制添加分析通道，真正實(shí)現(xiàn)全譜同時(shí)測(cè)量
-選裝件：?jiǎn)紊珒x，光譜范圍可擴(kuò)展至1500nm?？赏瑫r(shí)安裝3個(gè)光柵，獨(dú)立工作。

真空系統(tǒng)
-全不銹鋼殼體，可充分保證痕量元素的分析，尤其對(duì)于N元素分析
-光室真空采用二級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，噪音<50dB
-光源使用無(wú)油真空泵，*免除C，H，O，S，P等元素污染
-內(nèi)置安全閥設(shè)計(jì)，以避免突然斷電對(duì)旋轉(zhuǎn)葉片泵的損害
-選裝件：渦輪分子泵

WinGDOES軟件
-WindowsXP或更高平臺(tái)運(yùn)行
-使用界面簡(jiǎn)單、易懂，分級(jí)管理和操作
-功能強(qiáng)大
-方法建立簡(jiǎn)便，在線指導(dǎo)
-校準(zhǔn)樣品管理，*樣品添加
-多種校準(zhǔn)模式
-QDP定量分析校準(zhǔn)
-用戶定制測(cè)量報(bào)告模式
-數(shù)據(jù)處理和再處理功能
-多種格式數(shù)據(jù)輸出
-分析過(guò)程中界面語(yǔ)言切換

應(yīng)用
-熱處理
測(cè)量所關(guān)心元素的含量-深度分布，定性、定量檢測(cè)表面污染物、夾雜物和物相比例
-涂鍍層
可獲得涂鍍層完整的化學(xué)組分信息、層厚度，元素含量-深度分布。非導(dǎo)體涂鍍層，如：油漆、釉等可采用RF光源分析
-硬質(zhì)合金層
快速分析硬質(zhì)合金層和熱處理工件的滲層化學(xué)組分
-陶瓷
采用RF光源可靠的測(cè)量
-電鍍
測(cè)量電鍍層的復(fù)雜結(jié)構(gòu)和過(guò)渡界面信息，化學(xué)組分含量、層厚、質(zhì)量分布，也可進(jìn)行缺陷鑒別和分析
-化學(xué)組分
準(zhǔn)確測(cè)量化學(xué)元素含量
高精度、高重復(fù)性檢測(cè)
快速分析：<60s
可分析從H至U的所有元素， 檢測(cè)范圍從ppm至*
-太陽(yáng)能電池薄膜
檢測(cè)太陽(yáng)能光伏電池薄膜中化學(xué)元素含量分布，如：Cu(In，Ga)Se2

輝光放電光譜儀主要應(yīng)用領(lǐng)域
-汽車制造及零部件
-金屬加工、制造
-冶金
-航空、航天
-電子工業(yè)
-玻璃、陶瓷
-表面處理：化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積等
-電鍍
-光伏電池、鋰電
-科學(xué)研究