400μm的X射線光斑，為有害元素的控制提供了高分辨率的掃描分析，適合小到IC集成塊單一引腳的分析。同時提供*小光斑—10μm （可選配件）。
SDD檢測器*地提高了分辨率和計數(shù)率，且無需使用液氮（LN2）
無需任何樣品制備或真空--樣品僅需要放置在樣品室中，即可在正常大氣壓力下分析。*整合的軟件可控制樣品的移動，獲取數(shù)據(jù)分析（包括定性和定量分析，并生成成分組成圖像）。將樣品放在樣品祥中后，只需幾秒鐘，借助直觀的“point and click”選擇分析位置，即開始抓取數(shù)據(jù)。
樣品觀察采用同軸幾何呈象，可消除視差，您可以相信，看到的樣品即是測量的位置。
儀器裝載了兩個X射線管，從而使用戶能夠簡單地切換顯微和宏觀光束，可適用于一系列實驗。這些光管傳遞的高強度光斑確保了*的數(shù)據(jù)獲取時間。而光管的單毛細管設(shè)計非常適合高強度的元素成像，甚至對于不平整樣品同樣有效。
通過自動采樣掃描很容易獲得XRF面掃描圖像，樣品下方的第二次信號檢測能同時收集X射線透射圖像。這項技術(shù)可提供額外的結(jié)構(gòu)信息，極有利于對興趣區(qū)域的定位，或了解樣本的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
一臺儀器進行多種分析
有害元素的掃描分析
樣品位置的簡單準(zhǔn)確控制
適用于微觀尺寸至宏觀尺寸的寬范圍樣品分析
XGT可解決各種分析問題和困難
