MX12R半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡
MX12R半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡
光學系統(tǒng) | 色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版 |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
透反機架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重復(fù)定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 |