Servomex DF-760E 含水量和含氧量測量儀

DF-760E超微量水分分析儀是一款結合庫倫電量法和可調諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高

純電子級氣體中檢測微量級雜質水含量以實現(xiàn)質量控制。
產(chǎn)品特點

水分測量采用高度穩(wěn)定的可調諧激光二極管傳感器

氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達5年

低維護

一臺儀器適用于多種背景氣體測量

典型應用

集成電路板工廠的大宗氣體質量控制

密閉性檢測

規(guī)格

氣體類型： O2

技術庫倫電量法非消耗型電化學傳感器可調諧激光二極管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb

基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準）

響應時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘

零點漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt

失?；謴蜁r間： 恢復到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內不超過5分鐘恢復到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內不超過5分鐘

標配功能

輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標定期間設置凍結模擬輸出）

輸出范圍： 可比例調整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍

聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點驗證或標定進行中、水分分

析儀掉線、標定期間氧氣模擬輸出凍結控制

雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調整輸出

繼電器觸點： 4個非閉鎖觸點，可獨立分配給氧氣報警或氧氣標定進行中指示器，以及4個非閉鎖觸點，可獨立分配給水分報

警。SPDT觸點額定值為30V dc，5 A。

串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信

氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實現(xiàn)傳感器隔離和零點驗證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，

確保高精度零點（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調節(jié)器；帶流量控制

的旁通回路；¼” VCR進口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入

口接頭。

引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭

安裝： 19”機架安裝NEMA 1外殼

選項

泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭

氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)。

真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。

樣氣

溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C

露點： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)

條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣

塵埃： 小于2μm微粒

排空： 大氣壓。

樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮氣）—其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）

DF-760E超微量水分分析儀是一款結合庫倫電量法和可調諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高

純電子級氣體中檢測微量級雜質水含量以實現(xiàn)質量控制。
產(chǎn)品特點

水分測量采用高度穩(wěn)定的可調諧激光二極管傳感器

氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達5年

低維護

一臺儀器適用于多種背景氣體測量

典型應用

集成電路板工廠的大宗氣體質量控制

密閉性檢測

規(guī)格

氣體類型： O2

技術庫倫電量法非消耗型電化學傳感器可調諧激光二極管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb

基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準）

響應時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘

零點漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt

失常恢復時間： 恢復到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內不超過5分鐘恢復到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內不超過5分鐘

標配功能

輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標定期間設置凍結模擬輸出）

輸出范圍： 可比例調整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍

聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點驗證或標定進行中、水分分

析儀掉線、標定期間氧氣模擬輸出凍結控制

雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調整輸出

繼電器觸點： 4個非閉鎖觸點，可獨立分配給氧氣報警或氧氣標定進行中指示器，以及4個非閉鎖觸點，可獨立分配給水分報

警。SPDT觸點額定值為30V dc，5 A。

串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信

氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實現(xiàn)傳感器隔離和零點驗證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，

確保高精度零點（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調節(jié)器；帶流量控制

的旁通回路；¼” VCR進口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入

口接頭。

引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭

安裝： 19”機架安裝NEMA 1外殼

選項

泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭

氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)。

真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。

樣氣

溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C

露點： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)

條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣

塵埃： 小于2μm微粒

排空： 大氣壓。

樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮氣）—其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）