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微小空氣氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2021-07-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量807
  • 人氣值1345
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微小熱式空氣氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD氣體質(zhì)量流量計(jì)1.產(chǎn)品介紹1.1用途與特點(diǎn)質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制
微小空氣氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD 產(chǎn)品詳情

 微小熱式空氣氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD   熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD   氣體質(zhì)量流量計(jì)

 
1.產(chǎn)品介紹
1.1 用途與特點(diǎn)
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器
1.2 主要技術(shù)指標(biāo)

 

1.3 工作原理
AX10FD 系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
 

 

微小熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)AX10FD

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