a)試驗(yàn)箱應(yīng)具有以下饋通連接器:
i.至少兩個(gè)9針D-次級(jí)饋通(電流容量≥5 A)
ii.至少兩個(gè)15針D-次級(jí)饋通(電流容量≥5 A)
iii.至少兩個(gè)25針D-次級(jí)饋通(電流容量≥5 A)
iv.至少三個(gè)37針D-次級(jí)饋通(電流容量≥5 A)
V.至少十個(gè)SMA饋通(母對(duì)母,DC–12 GHz)
vi.至少四條連續(xù)高壓饋電線(>15千伏)
Vii.至少六個(gè)連續(xù)大電流饋通(>25 A電流容量)
viii.T型熱電偶至少二十個(gè)饋通ix.至少一個(gè)可用直徑≥160 mm的毛坯饋通
b) 試驗(yàn)箱的前后側(cè)應(yīng)安裝觀察孔,以觀察真空下的試驗(yàn)件。
c) 饋線和視圖端口的確切位置和配置應(yīng)在與最終用戶討論并經(jīng)最終用戶同意后確定。
焊接
a) 系統(tǒng)中涉及的所有焊接工藝和程序應(yīng)經(jīng)過(guò)認(rèn)證,并符合ISO、GB、ASME或同等標(biāo)準(zhǔn)。
b) 所有接頭(固定的和可拆卸的)應(yīng)進(jìn)行質(zhì)量泄漏試驗(yàn)分光計(jì)。泄漏率必須小于1 x 10-8 mbar升/秒。應(yīng)提供試驗(yàn)報(bào)告。
艙排氣
a)在真空條件下,應(yīng)在不到20分鐘內(nèi)通過(guò)5微米級(jí)過(guò)濾器排出干凈空氣。
控制和儀表系統(tǒng)(CIS)
a) 所有設(shè)備,如真空泵和驅(qū)動(dòng)電機(jī),都應(yīng)該由CIS控制。
b) 供應(yīng)商應(yīng)提供一個(gè)合適的基于個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)的圖形用戶界面(GUI)和所有許可證。
c) CIS的圖形用戶界面應(yīng)完成以下任務(wù):
i.展示試驗(yàn)件、覆環(huán)和底板的溫度 。
ii.展示真空艙的壓力。
iii.展示所有系統(tǒng)部件和安全聯(lián)鎖裝置的功能狀態(tài)。
iv.展示圍帶溫度控制等主要過(guò)程調(diào)節(jié)回路的狀態(tài)。
v.展示適當(dāng)標(biāo)度隨時(shí)間變化的圍帶和被測(cè)器件的溫度分布。
vi.自定義程序生成、存儲(chǔ)和執(zhí)行。
d) 應(yīng)該有一個(gè)全自動(dòng)的計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)的啟動(dòng)和關(guān)閉。
e) CIS應(yīng)從覆環(huán)、底板和DUT上的溫度傳感器獲取數(shù)據(jù),并從腔艙的壓力傳感器獲取數(shù)據(jù)。
f) 數(shù)據(jù)記錄應(yīng)具有故障保護(hù)機(jī)制,防止在電源/系統(tǒng)故障期間丟失任何測(cè)試數(shù)據(jù)。
g) CIS硬件/軟件的顯著特點(diǎn):
i.數(shù)據(jù)采集周期應(yīng)通過(guò)PC系統(tǒng)的圖形用戶界面進(jìn)行編程。
ii.應(yīng)在至少1秒的取樣時(shí)間內(nèi)記錄數(shù)據(jù)。
iii.數(shù)據(jù)的采集和記錄應(yīng)至少持續(xù)168小時(shí)(7天)。
熱控制系統(tǒng)(TCS)
a) TVC的熱控制系統(tǒng)(TCS)中提到的DUT(測(cè)試樣品)。
b) TCS應(yīng)包括:
i. 一個(gè)圓柱形圍帶
ii.一個(gè)前圍帶
iii.一個(gè)后圓形圍帶
iv.一塊底板
v. 護(hù)罩和底板上的嵌入式加熱器,額定功率為10.0千瓦或以上。加熱器分布示例如下:
?圓柱形圍帶上的功率為5千瓦
?前后圍帶功率為2千瓦
?底板3千瓦
c)覆環(huán)和腔艙底板的溫度應(yīng)由用于加熱的嵌入式加熱器和用于冷卻的液氮(LN2)控制。
d) 護(hù)環(huán)和底板的溫度應(yīng)控制在-173°C到正150°C的范圍內(nèi)。即-180°C到150°C
e) 加熱過(guò)程中的升溫速率應(yīng)為+2°C/min或更快。
f) 冷卻過(guò)程中的升溫速率應(yīng)為-2°C/min或更快。
g) 根據(jù)ECSS-Q-70,以下給出了空間環(huán)境應(yīng)用中圍帶和底板的放氣要求:
i.排氣:
?%總質(zhì)量損失(TML):<1
?%收集的揮發(fā)性可冷凝物質(zhì)(CVCM):<0.1
h) TCS應(yīng)具有以下獨(dú)立的加熱和冷卻溫度控制通道。這些通道的分布應(yīng)如表1所示。
組成部分 | 冷卻隧道 | 加熱隧道 |
液氮 | 嵌入式加熱器 | |
底板 | 1 | 1 |
前圍帶 | 1 | 1 |
后圍帶 | 1 | 1 |
圓柱形圍帶 | 1 | 1 |
i) TCS應(yīng)具有兩種熱控制模式:
i.自動(dòng)控制模式
ii.手動(dòng)控制模式
j) 在自動(dòng)控制模式下,圍帶溫度和底板溫度由DUT上定義的設(shè)定點(diǎn)溫度自動(dòng)控制,通過(guò)液氮冷卻,通過(guò)嵌入式加熱器加熱??刂茋鷰囟鹊囊旱图訜崞麟娫吹淖⑷霊?yīng)通過(guò)帶有GUI程序的計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制到根據(jù)可編程熱循環(huán)曲線預(yù)先設(shè)定的設(shè)定點(diǎn)溫度。每個(gè)控制回路應(yīng)具有自己的可編程熱循環(huán)曲線。
k) 在手動(dòng)控制模式下,圍帶溫度、底板溫度、加熱器功率和用戶添加的外部加熱器功率應(yīng)由用戶通過(guò)帶有GUI程序的計(jì)算機(jī)按照可編程設(shè)定的加熱器功率和溫度曲線進(jìn)行控制。
l) 應(yīng)將足夠的熱電偶(根據(jù)2.2.1)連接到保護(hù)罩和底板上,以測(cè)量其溫度。這些熱電偶的平均讀數(shù)應(yīng)用于熱控制。這些熱電偶的讀數(shù)也應(yīng)用于測(cè)量2.4中的均勻性條件。
m) 用戶應(yīng)能根據(jù)一個(gè)熱電偶或至少十個(gè)熱電偶的平均值設(shè)置被測(cè)設(shè)備的設(shè)定點(diǎn)溫度。
溫度傳感器和儀表
a) 宏闊采用電工委員會(huì)(IEC)標(biāo)準(zhǔn)選擇溫度傳感器。
b) 至少應(yīng)有十二個(gè)1級(jí)T型熱電偶或PT100鉑電阻溫度計(jì)(PRT)用于溫度控制(保護(hù)罩上有8個(gè),底板上有4個(gè))。
c) 至少應(yīng)有二十個(gè)1級(jí)T型熱電偶或PT100鉑電阻溫度計(jì)(PRTs),用于被測(cè)器件的溫度監(jiān)測(cè)。
d) 熱循環(huán)系統(tǒng)的每個(gè)入口和出口歧管上必須安裝至少一個(gè)3級(jí)T型熱電偶或PT100鉑電阻溫度計(jì)(PRT),以便進(jìn)行診斷。
e) 連接到CIS的熱電偶應(yīng)通過(guò)專門的熱電偶饋通。(注:第2.1.1節(jié)中提到的饋電線是為用戶DUT預(yù)留的,不會(huì)用于溫度監(jiān)測(cè)和與CIS的連接。)
真空系統(tǒng)
a) 真空系統(tǒng)的停泵時(shí)間應(yīng)小于60分鐘,120分鐘,180分鐘,240分鐘,300分鐘,360分或者480分鐘,以便在沒(méi)有被測(cè)設(shè)備的情況下達(dá)到1 x 10-7 mbar或更低的真空條件。
b) 真空系統(tǒng)應(yīng)在適當(dāng)位置安裝至少兩個(gè)真空計(jì),以準(zhǔn)確測(cè)量真空艙的真空度。
c) 根據(jù)ECSS-E-10-03A標(biāo)準(zhǔn),真空艙的真空度應(yīng)在表2中規(guī)定的公差范圍內(nèi)。
測(cè)試參數(shù) | 公差 | |
壓力 | > 1.3 mbar | ±15% |
10 x10-3 mbar 到 1.3 mbar | ±30% | |
< 1.3 x10-3 mbar | ±80% |
表2:真空艙壓力允許偏差