XF3807T是SOS硅-藍(lán)寶石高溫差壓傳感器,其工藝:
1.利用硅薄膜的晶體結(jié)構(gòu)和藍(lán)寶石相類似的特點,在藍(lán)寶石基片表面外延生長一層硅單晶薄膜;
2. 通過固態(tài)微電子技術(shù),對硅薄膜層進(jìn)行光刻,形成惠斯登電橋的4個橋臂;
3.藍(lán)寶石膜片是優(yōu)秀的彈性元件,和鈦結(jié)合一起,能夠獲得-55°C~400℃范圍內(nèi)良好的彈性應(yīng)變特性;
4. 藍(lán)寶石基底是絕緣性材料,在-55°C-520°C范圍,不隨溫度升高而變化,為高溫傳感器提供*的電氣絕緣;
5.根據(jù)單晶硅壓阻效應(yīng)原理,連接的單晶硅應(yīng)變計,實現(xiàn)力與電信號的轉(zhuǎn)換,制作出XF3807T工作在-55℃~350℃的硅-藍(lán)寶石壓力/差壓傳感器。
同擴(kuò)散硅壓力傳感器相比較由于藍(lán)寶石(AL2O3)基底本身不存在PN結(jié),沒有結(jié)效應(yīng),因此,SOS藍(lán)寶石傳感器具有很好高溫電絕緣性能。
同箔電阻應(yīng)變傳感器相比較XF3807T壓力敏感元件是一個生長在雙層藍(lán)寶石-鈦薄膜上的單晶硅電阻應(yīng)變計,因此,在高溫下XF3807T藍(lán)寶石傳感器具有很好應(yīng)變特性和很好重復(fù)性。
又因為單晶硅電阻應(yīng)變計是通過異質(zhì)外延方法和藍(lán)寶石膜片連接,所以XF3807T高溫傳感器幾乎沒有滯后和衰減影響,沒有中間傳導(dǎo)介質(zhì)硅油。
又因為單晶硅電阻應(yīng)變元件是通過固態(tài)微電子方法集成在一起,所以XF3807T高溫傳感器精度高,穩(wěn)定性好。
再次,藍(lán)寶石具有化學(xué)惰性,的光學(xué)和抗輻射特性(如γ射線等),所以XF3807T高溫傳感器可以使用在強輻射環(huán)境,如原子能電站、航空航天等場合。
XF3807T硅-藍(lán)寶石壓力/差壓傳感器的之處:在藍(lán)寶石基片上外延摻硅半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計。
.測量生產(chǎn)流程中高溫液體、氣體和水蒸汽等差壓值變化。
.量程:0 ~ 10KPa ……40 MPa
.供電方式:18-36VDC、標(biāo)準(zhǔn)24VDC
.輸出方式:4-20mA 、0-5V、1-5V
.0-5V輸出具有精度補償功能。
.連接方式:陽螺紋固定,金屬擠壓式密封。
.適用溫度:300℃,自然冷卻法。
.耐磨損、抗沖擊、抗輻射、耐腐蝕、安裝方便。
.單端耐壓值 =(3~10)倍工作差壓值。
.芯體為全鈦合金本體,10KHz的頻響。
.的光學(xué)和抗輻射特性(如γ射線等)。
.進(jìn)口俄羅斯藍(lán)寶石,體積小,簡潔、長期穩(wěn)定性好。