大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點(diǎn):
兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,充分 利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。
Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。
借助自動(dòng)聚焦硬件,您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。
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晶圓