測(cè)量顯微鏡MF/MF-U系列產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B | |
貨號(hào) | 176-430*1 | 176-431*1 | 176-432*1 | 176-433*1 | 176-434*1 | |
光路 |
| 有限校正光學(xué)系統(tǒng) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) |
標(biāo)準(zhǔn)分劃板(內(nèi)置) | 90o點(diǎn)劃線十字線(線寬5μm) | |||||
可調(diào)瞳距 | 西登托夫型調(diào)節(jié)范圍:51-76mm | |||||
光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 | |||||
垂直傾斜度 | 25o | 傾斜 | ||||
TV端口 | 作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供 | |||||
觀察圖像 | 正像 | |||||
目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X | ||||
物鏡(可選) |
| 可選單筒目鏡(配有一個(gè)目鏡) | 配備兩個(gè)10X目鏡 | |||
ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | — | ||||
BF(亮視場(chǎng)) | — | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo | ||||
BD(亮/暗視場(chǎng)) | — | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL | ||||
轉(zhuǎn)塔(可選) | BF(亮視場(chǎng)) | — | (配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器*2) | |||
BD(亮/暗視場(chǎng)) | — | (配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器*3) | ||||
聚焦部分 | 工件高度 | 可達(dá)150mm | ||||
測(cè)量精度 | (1.5+0.01L) μm L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |||||
驅(qū)動(dòng)方式 | 使用控制手柄進(jìn)行電動(dòng)控制 | |||||
照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V,50W),100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào),光纖冷光照明 | ||||
反射照明裝置 | 科勒照明,可變孔徑光闌機(jī)制,鹵素?zé)襞?12V,100W),100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào),光纖冷光照明 | |||||
工作臺(tái) | 測(cè)量范圍(XxY) | 250×150mm | ||||
測(cè)量精度*4(X和Y軸無負(fù)載) | (0.9+0.003L) μm L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |||||
工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 | 460×350mm | |||||
載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm | |||||
旋轉(zhuǎn)角度 | ±3o | |||||
承重 | 30kg | |||||
驅(qū)動(dòng)方式 | 使用手柄進(jìn)行電動(dòng)控制 | |||||
檢測(cè)器 | 高精度光柵尺(磚利) | |||||
數(shù)顯 | 分辨力 | 0.01μm | ||||
顯示軸 | X, Y, Z | |||||
數(shù)據(jù)處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit | |||||
操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 | ||||
精細(xì)間距 | 可用 | |||||
數(shù)據(jù)輸出 | 可用 | |||||
數(shù)字顯示復(fù)位 | 可用 | |||||
照明光強(qiáng)度控制 | 可用 | |||||
LAF(只對(duì)焦) | — | — | 可用 | |||
LAF(跟蹤對(duì)焦) | — | — | 可用 | |||
轉(zhuǎn)塔控制 | — | 可用 (安裝電動(dòng)轉(zhuǎn)塔時(shí)) | ||||
重量 | 顯微鏡主機(jī) | 約250kg | 約255kg | |||
電源裝置 | 14kg | |||||
電源 | 100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗:700W |
產(chǎn)品特點(diǎn) |
★MF-U 系列的電動(dòng)型。X、Y 和 Z 軸均為電動(dòng)控制,工作臺(tái)可由控制手柄進(jìn)行操作。 |
BF(亮視場(chǎng)) | 型號(hào) | MF-UG2017D | MF-UG3017D | MF-UG4020D | MF-UE2017D | MF-UE3017D | MF-UE4020D |
貨號(hào) | 176-784*1 | 176-785*1 | 176-786*1 | 176-790*1 | 176-791*1 | 176-792*1 | |
BD(亮/暗視場(chǎng)) | 型號(hào) | MF-UH2017D | MF-UH3017D | MF-UH4020D | MF-UF2017D | MF-UF3017D | MF-UF4020D |
貨號(hào) | 176-787*1 | 176-788*1 | 176-789*1 | 176-793*1 | 176-794*1 | 176-795*1 | |
觀察圖像 | BF(亮視場(chǎng)),DF(暗視場(chǎng)) (僅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉對(duì)比(DIC)/正像 | ||||||
目鏡 | 屈光度調(diào)節(jié) | 10X(標(biāo)準(zhǔn)選件) (視場(chǎng)數(shù):24),15X,20X | |||||
物鏡(可選) | BF(亮視場(chǎng)) | M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭) | |||||
BD(亮/暗視場(chǎng)) | BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有鏡頭) | ||||||
照明裝置(二選一) | LED照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 | |||||
鹵素照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 | ||||||
影像AF*2 | √ | √ | |||||
激光AF*2 | 一 | √ | |||||
XY軸 | 測(cè)量范圍 | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
Z軸 | 測(cè)量范圍 | 220mm | |||||
測(cè)量精度*3 | (X和Y軸無負(fù)載) | (2.2+0.02L) μm L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |||||
數(shù)顯計(jì)數(shù)器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1μm 可切換 |
型號(hào) | MF-G2017D | MF-G3017D | MF-G4020D | |
貨號(hào) | 176-781*1 | 176-782*1 | 176-783*1 | |
觀察圖像 | BF(明視場(chǎng))/正像 | |||
目鏡 | 屈光度調(diào)節(jié) | 10X(視場(chǎng)數(shù)24),15X,20X | ||
物鏡 |
| ML系列3X物鏡(標(biāo)配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | ||
照明裝置(二選一) | LED照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 | ||
鹵素照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光圈,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 | |||
影像AF*2 | ? | |||
XY軸 | 測(cè)量范圍 | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
Z軸 | 測(cè)量范圍 | 220mm | ||
測(cè)量精度*3 | (X和Y軸無負(fù)載) | (2.2+0.02L) μm L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | ||
數(shù)顯計(jì)數(shù)器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1μm 可切換 |