該四點探針系統(tǒng)不適用于測量形成天然絕緣氧化物(如硅)的材料的性能。
四點探針系統(tǒng)特點
寬電流范圍-四點探針能夠提供10毫安到150毫安之間的電流,并且可以測量低至100μV到10 V的電壓。該系統(tǒng)可以測量100 mΩ/□到10 mΩ/□范圍內(nèi)的片電阻,從而能夠描述各種材料的特性。
易于使用-只需插入系統(tǒng),安裝軟件,你就可以開始了!直觀的界面和簡潔的設(shè)計使四點探針易于使用,簡化了對薄板電阻的測量??梢允褂酶鞣N形狀和尺寸的基底。
高精度-正負(fù)極性測量可以使用PC軟件進(jìn)行。這使您能夠計算正負(fù)電流之間的平均片電阻-消除可能發(fā)生的任何電壓偏移,從而提高測量精度。
無損檢測-設(shè)計時考慮到精密樣品的測量,四點探針頭采用鍍金、柔和的彈簧加載觸點和圓形。這將產(chǎn)生60克的恒定接觸力,防止探針穿透易碎的薄膜,同時仍然提供良好的電接觸。
節(jié)省空間的設(shè)計-通過仔細(xì)的設(shè)計考慮,我們能夠?qū)⑺狞c探頭的占地面積保持在最小(總工作臺面積為14.5 cm x 24 cm),即使在缺乏貨架空間的繁忙實驗室也可以使用。
快速材料表征-PC軟件(包括在系統(tǒng)中)執(zhí)行所有必要的測量和計算薄板電阻,電阻率和導(dǎo)電性-使材料表征毫不費力。它還自動執(zhí)行校正系數(shù)計算。
Measurement Specifications
Voltage range | ±100 μV to ±10 V |
Current range | ±1 μA to ±150 mA |
Sheet resistance range | 100 mΩ/□ to 10 MΩ/□ (ohms per square) |
Sheet Resistance | Accuracy* | Precision** | Measured at Range |
100 mΩ/□ | ±8% | ±3% | 1 |
1 Ω/□ | ±2% | ±0.5% | 1 |
10 Ω/□ | ±1% | ±0.5% | 1 |
100 Ω/□ | ±1% | ±0.05% | 2 |
1 kΩ/□ | ±1% | ±0.03% | 2 |
10 kΩ/□ | ±1% | ±0.02% | 3 |
100 kΩ/□ | ±2% | ±0.05% | 4 |
1 MΩ/□ | ±8% | ±0.5% | 5 |
10 MΩ/□ | ±30% | ±5% | 5 |
*Accuracy is the maximum deviation from the true value.
** Precision is the maximum deviation between identical measurements (useful for comparative measurements).
Physical Specifications
Probe Spacing | 1.27 mm |
Rectangular Sample Size Range | Long Edge Minimum: 5 mm Short Edge Maximum: 60 mm |
Circular Sample Size Range (Diameter) | 5 mm to 76.2 mm |
Maximum Sample Thickness | 10 mm |
Overall Dimensions | Width: 145 mm Height: 150 mm Depth: 240 mm |