Micro 101 HP高壓氣體激光粒子計數(shù)器
高壓氣體激光粒子計數(shù)器
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粒子監(jiān)測系統(tǒng)有限公司研制的Micro LPC-101 HP 粒子計數(shù)器以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本。本款粒子監(jiān)測系統(tǒng)可將數(shù)據(jù)輸出至外接打印機或電腦。
好處
- 降低成本
- 制程氣體分配系統(tǒng)快速達標
- 監(jiān)測氣體中的粒子變化,以防影響產(chǎn)量
- 系統(tǒng)配置兩套設備:采樣傳感器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)
- 改善制程控制
- 規(guī)格驗證
- 檢測制程干擾
- 量化系統(tǒng)變化造成的影響
- 精確測量粒徑
- Facility Net 軟件的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)具有全面的數(shù)據(jù)儲存、管理、報告、報警等功能
- 可靠性高
- 無源腔設計,無需頻繁維修保養(yǎng)
- 無需流體即可完成監(jiān)測,這是其它系統(tǒng)所不具備的優(yōu)點
- 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本
應用
- 氣體分配系統(tǒng)規(guī)則達標
- 監(jiān)測制程氣體