極紫外EUV相機(jī)特點(diǎn)
在線EUV光束成像
各種空間分辨率
直接光束曝光保護(hù)
可定義GOI感興趣區(qū)域
可調(diào)抗異常電路
極紫外EUV相機(jī)參數(shù)CRYCAM-X1-4.2
視場(chǎng)FOV: 直徑2mm
空間分辨率:4.2um
工作溫度:0-40攝氏度
圖像傳感器:1/2'' COMS單色圖像傳感器
成像分辨率:1288x1032像素
像素大小:5.2x5.2um
圖像傳感器尺寸:6.7x5.4mm
幀頻:30fps
最小曝光時(shí)間:38us
動(dòng)態(tài)范圍:8bit 或 10bit
像素時(shí)鐘:5~48MHZ
控制接口:MPE-GARRY MICRO-T
計(jì)算機(jī)接口:USB2.0
軟件:EUV成像軟件
閃爍體成像屏: LuAG:Ce 和或YAG:Ce熒光屏
可探測(cè)電子能量:高達(dá)40Kev
尺寸:250x45x90mm (LxWxH)
重量:1.4kg