D07-19B型質(zhì)量流量控制器 ★高精度，快響應(yīng)型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭 ★兼容用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn): 氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K） 標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V 輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V 產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
輸入和輸出:
滿量程流量范圍（N2) 5SCCM～30SLM 控制范圍 2～F.S. 閥類型（閥初始狀態(tài)） 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度 ≤10SLM ±1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S.
線性 ≤10SLM ±0.5～1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S. 重復(fù)精度 ±0.2％F.S. 響應(yīng)時(shí)間 ≤4sec 工作溫度范圍 5～45℃
工作壓差 ≤10SLM 0.1～0.5MPa ＞10SLM 0.1～0.3MPa 耐壓 3MPa 漏氣率 1×10-9SCCSHe 密封材料 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠
接頭選擇 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm 電插頭形式 DB15 pin(Male) 抗電磁干擾 CE 重量 2.6kg
