白光干涉儀

產(chǎn)品用途

結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微鏡與干涉儀，不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨力、易學(xué)易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。

產(chǎn)品特點

1.奈米深度3D檢測

2.高速/無接觸量測

3.表面形狀/粗糙度分析

4.非透明/透明材質(zhì)皆適用

5.非電子束/非雷射的安全量測

6.低維護(hù)成本

7.系統(tǒng)硬件搭配lmgscan前處理軟件自動解析白光干涉儀條紋

8.垂直高度可達(dá)0.1mm

9.高速的分析算法，讓您不再苦候測量結(jié)果

10.垂直掃描范圍的設(shè)定輕松以容易

11.有10X、20X、50X、倍率的物鏡可供選擇

12.平臺X、Y、Z、位置數(shù)字式顯示，使檢測目標(biāo)尋找快速又便利

13.具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對比

14.具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇

15.具有的解析算法可處理半透明物體的3D形貌

16.具有自動補點功能

17.可自行設(shè)定掃描方向

產(chǎn)品參數(shù)

1.產(chǎn)品型號：AE-100M

2.移動臺（mm）：平臺尺寸100*100 行程13*13

3.物鏡倍率：10倍

4.觀察與測量范圍（mm）：0.43*0.32

5.光學(xué)分辨率（um）：0.92

6.收光角度（Degrees）：7.4

7.傳感器分辨率：640*480像素

8.Z軸移動范圍(mm）：45 手動細(xì)調(diào)

9.Z軸位置數(shù)字顯示器：分辨率1um

10.傾斜調(diào)整平臺：雙軸/手動調(diào)整

11.高度測量范圍（um）：100

12.量測分辨率（nm）：0.1

13.測量控制：自動

14.掃描速度（um/s）：12（）

15.光源：鹵素冷光源

16.光強度調(diào)整：自動/手動

以上參數(shù)僅供參考，如需要詳細(xì)了解請聯(lián)系客服，以便為您提供更專業(yè)的資料以及測量服務(wù)