產品名稱：光學3D表面輪廓儀
- 光源：白光/綠光LED（單雙可選）
- 影像系統(tǒng)：1024×1024
- 干涉物鏡：2.5×，5×、10×、20×、50×、100×
- XY平臺移動范圍：200mm×200mm
- 控制方式：電動
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詳細信息
一、產品簡介
SuperView W2光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SuperView W2光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
二、產品功能
1.一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。
2. 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
3.測量中提供拼接測量功能。
4. 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
6.分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
三、應用領域
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
半導體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓） | 光學元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度 | |
 |  | |
（超精密）加工.輪廓尺寸&角度 | 表面工程（摩擦學）.輪廓面積&體積 | |
 |  | |
3C電子（玻璃屏）.粗糙度 | 標準塊.臺階高&粗糙度 | |
?? |  | |
附錄1.依據 ISO/ASME/EUR/GBT等國內外標準計算的2D，3D參數表：
2D參數表
標準名 | 參數 | |||
ISO 4287-1997 |
| 主剖面 | 粗糙度 | 波紋度 |
振幅參數 | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa, Wq,Wsk,Wku | |
間距參數 | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
物料比參數 | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
峰值參數 | PPc | RPc | WPc | |
ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
ISO 12085 | 粗糙度圖形參數 | R,AR,R× ,Nr | ||
波紋度圖形參數 | W,AW,W×,Wte | |||
其他圖形參數 | Rke,Rpke,Rvke | |||
AMSE B46.1 | 2D參數 | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
DIN EN ISO 4287-2010 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
JIS B0601-2013 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
GBT 3505-2009 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
3D參數表
標準名 | 參數 | |
ISO 25178 | 高度參數 | Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
函數參數 | Smr,Smc,S×p | |
空間參數 | Sal,Str,Std | |
復合參數 | Sdq,Sdr | |
體積參數 | Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv | |
形態(tài)參數 | Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv | |
功能參數 | Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq | |
ISO 12781 | 平面度參數 | FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
EUR 15178N | 振幅參數 | Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St |
空間參數 | Str,Std,Sal | |
復合參數 | Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd | |
面積體積參數 | Smr,Sdc | |
函數參數 | Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq | |
功能性指標參數 | Sbi,Sci,Svi | |
EUR 16145 EN | 振幅參數 | Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku |
混合參數 | Ssc，Sdq，Sdr | |
功能性指標 | Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk | |
空間參數 | Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi | |
硬度參數 | Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp | |
ASME B46.1 | 3D參數 | St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
