智能動態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-3：由3個高壓流量控制器，適用惰性氣體以及腐蝕性氣體（可選全金屬密封）；流量范圍0~500毫升每分鐘；耐壓程度：5MPa（可選10Mpa）；精度等級：±1%F.S；可用于氮氣、氦氣、氬氣等惰性氣體，也可用于甲烷、烴類等可燃氣體；設備里面采用高效混氣罐，混氣濃度均勻、平穩(wěn)、高效、快速、精確地混合配比多種氣體；各路MFC控制重復性精度高達±0.5%F.S；稀釋比范圍寬，從PPB級別到PPM級別到%。

   智能動態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-3：氣體混合配比不限氣體種類和數(shù)量，內(nèi)置精密閥門，能有效過濾氣體中的雜質(zhì)以及防止氣體相互干擾，且可根據(jù)氣體的入口壓力來調(diào)整后端的氣體背壓情況。SSGM系列的動態(tài)配氣裝置穩(wěn)定性好，不受溫度和壓力的影響，本裝置配氣穩(wěn)定性好，精確度高，配制值與實測值相符。SSGM系列的動態(tài)配氣裝置采用智能控制系統(tǒng)，可通過軟件進行配氣濃度和氣體選擇，預留物聯(lián)網(wǎng)模塊接口，可拓展聯(lián)網(wǎng)功能，提供USB接口，預留數(shù)據(jù)通訊信號，可與其他設備相連接