微型氣體質量流量控制器SENSUN:是基于熱擴散原理而設計的流量儀表.即利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。本系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,再通過微電子控制技術,將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
微型氣體質量流量控制器SENSUN:檢測范圍為5sccm——1500slm之間,對氣體流量測量無需溫度和壓力補償,測量方便、準確,即可得到氣體的質量流量或者標準體積流量。全新的微電子芯片節(jié)能技術和創(chuàng)新的多級控制回路,帶來*的動態(tài)特性,新金屬外殼是堅固緊湊型設計。