功能
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
- 支持最多六個來源同時共鍍膜
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
- 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(tǒng)（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）
- 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
- 可容納最多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
- 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
- 可選以太網(wǎng)通信
- 符合 RoHS 標準
典型應(yīng)用
- 光學鍍膜
規(guī)格
| 類型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 測量性能 | ||
| 頻率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.00433 ? | |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 測量周期 | 0.10 s | |
| 多個測量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 設(shè)計功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自動色調(diào) | yes | |
| 共沉積 | yes (up to 6 sources) | |
| 過程配方和數(shù)據(jù)管理 | ||
| 材料計劃 | 32 | |
| 過程層（每個過程） | 200 | |
| 過程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存儲器 | yes | |
| 數(shù)據(jù)記錄 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 傳感器 (3) | ||
| 單 | 8 | |
| 雙 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
| 通用 | 8 | |
| 來源控制 | ||
| 來源數(shù)量 (4) | up to 6 | |
| 來源控制電壓 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 輸出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 坩堝位置 | 64 | |
| 輸入 / 輸出 | ||
| 輸入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 輸出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 記錄器輸出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 邏輯語句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 通信 | ||
| 標準 | RS232 | |
| 可選 | Ethernet | |
| 顯示器 | ||
| 厚度分辨率 | 1 ? for 0 to 9.999 k? 10 ? for 10.00 to 99.99 k? 100 ? for 100.0 to 999.9 k? 1 k? for 1000 to 9999 k? | |
| 速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 ?/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 ?/s 0.1 for 100 to 999.9 ?/s | |
| 操作 | ||
| 電源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
| 工作溫度 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
| 尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深） | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 重量 | 23 lbs (10.5 kg) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基本頻率 = 6 MHz
(2) 因流程而異；數(shù)值反映典型精確度
(3) 每種型號的配置
(4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標準，另有 6 種標準可選擇性地添加。這 12 個標準中的任何一個都可作為源控制電壓或記錄器輸出進行配置，但可同時控制的源的數(shù)量為 6
INFICON IC6膜厚儀
