一、氣體質量流量控制器原理
uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現在傳統(tǒng)的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩(wěn)大定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而 uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用 MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是 70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
二、氣體質量流量控制器技術參數 采用關鍵矽微機械加工技術的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。三、 氣體質量流量控制器技術參數
2.1 測量介質：空氣，氮氣，二氧化碳，氬氣，氧氣，氫氣，氦氣
2.2 流量范圍： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài) 20℃，101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定
2.3 允許誤差：±1.5%FS
2.4 精度保證溫度：15-35℃；
2.5 工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
2.6 供電電源：24VDC
2.7 輸入信號：0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.9 環(huán)境溫度：5-45℃；
顯示位數：瞬時流量為 6位，累積流量 8位。
