臭氧傳輸系統(tǒng)-儀表網

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上海卯林機電設備有限公司秉承專業(yè)、專注的態(tài)度，從事氧氣分析儀、臭氧分析儀，臭氧催化劑、儀器儀表銷售、系統(tǒng)集成與服務等10年，先后成為美國Teledyne API、英國Pi、日本TORAY中國區(qū)總代理。產品廣泛用于市政水處理、半導體、太陽能、食品飲料、泳池、工業(yè)水處理等領域。堅持探索、不斷創(chuàng)新是企業(yè)的發(fā)展的動力。上海卯林多年來積極對外展開合作和交流，先后同清華大學、復旦大學等高校展開合作，成功開發(fā)出尾破臭氧催化劑和高效臭氧氧化催化劑以滿足市場對高品質臭氧催化劑的需求。

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產品簡介在線詢價

ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合*，操作簡單，能夠...

臭氧傳輸系統(tǒng) 產品詳情

ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合*，操作簡單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。

規(guī)格

特征

高純度水冷臭氧發(fā)生器，濃度達

350 g/Nm3

的高濃度監(jiān)測儀

使用質量流量計監(jiān)測和控制臭氧和

進氣

完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)

最多支持四個獨立的伺服控制回路

19英寸柜機式外殼，頂端帶有排氣系

統(tǒng)，底端配有輪子

應用

化學氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長

表面處理

顆粒清潔

光刻膠去除

灰化

關鍵詞：輸送系統(tǒng) 臭氧發(fā)生器質量流量計

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