二、概述

2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、智能化綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

2.2 儀器成套組成：由2258C四探針主機、選配的四探針探頭、選配四探針測試臺等部分組成。

2.3優(yōu)勢特征：

1：本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果自動分類功能，分類10類。

2：可定制 USB通訊接口，便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。

3：8檔位超寬量程，行業(yè)。 同行一般為五到六檔位。

4: 儀器小型化、手動/自動一體化。

5: 儀器操作簡便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。

2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如2253-F01型，以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如2558B-F01型，可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專用箔上涂層探頭，如2558B-F02型，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測試夾具，還可對電阻器的體電阻進行測量

2.5測試臺選配：根據(jù)不同材料特性需要，測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》

四探針法測試固體或薄膜材料選配A型或B型（電動）或C型（快速恒壓）或F型（太陽能電池片）測試臺。

二探針法測試細長棒類材料選配K型測試臺.

平行四刀法測試橡塑材料選配G型測試臺。

2.6適用范圍：儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

1. 測量范圍、分辨率（括號內(nèi)為可向下拓展1個數(shù)量級）

電阻：10.0×10-6～200.0×103Ω, 分辨率1.0×10-6～0.1×103Ω

（1.0×10-6～20.00×103Ω,分辨率0.1×10-6～0.01×103Ω）

電阻率：10.0×10-6～200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6～0.1×103Ω-cm

（1.0×10-6～20.00×103Ω-cm 分辨率0.1×10-6～0.01×103Ω-cm）

方塊電阻：50.0×10-6～900.0×103Ω/□ 分辨率5.0×10-6～0.5×103Ω/□

（5.0×10-6 ～100.0×103Ω/□ 分辨率0.5×10-6～0.1×103Ω/□）

2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)

直徑：B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限

長(高)度： 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

測量方位: 軸向、徑向均可

3.3 量程劃分及誤差等級

3.4 四探針探頭（選配其一或加配全部）

(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

3.5. 電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗 lt;20W

3.6.外形尺寸、重量：

主 機： 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高），

凈 重：≤2.5kg