基質(zhì)輔助脈沖激光蒸發(fā)(MAPLE)是PLD的一種變體。這是由NRL集團引入的,以促進某些功能有機材料的薄膜沉積?;赨V (5-6 eV)的傳統(tǒng)PLD技術(shù)可能不適用于這種情況,因為光化學(xué)反應(yīng)可能會惡化有機分子、聚合物等的功能。在MAPLE中,通過將待沉積的有機物(或聚合物)與吸收激光波長的溶劑(基質(zhì))混合來制備特殊的靶。除了光學(xué)吸收外,在沉積條件下的高蒸氣壓是基質(zhì)的先決條件。然后用液氮冷卻液體目標(biāo)物,使其凍結(jié)為固體。激光輻射主要被目標(biāo)的高揮發(fā)性、冷凍的溶劑(基質(zhì))分子吸收,這些分子隨后從固體目標(biāo)中脫離,捕獲和帶走感興趣的有機分子。在它們向基片傳輸?shù)倪^程中,高揮發(fā)性的基質(zhì)分子被抽走,將有機分子輸送到基片上沉積薄膜。
脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition)是一種用途廣泛的薄膜沉積技術(shù)。脈沖激光快速蒸發(fā)靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的*之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時,工作壓力的動態(tài)范圍很寬,達到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有*功能的納米結(jié)構(gòu)和納米顆粒。