脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 Laser MBE/PLD System-儀表網

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北京正通遠恒科技有限公司成立于2001年,是一家經營歐美和日本等國*科學測試儀器和設備,并將*進技術引入國內的科技服務型企業(yè).經過十年的發(fā)展，公司在北京、上海、廣州、武漢均設有辦事處。

公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經營公司的業(yè)務（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主營儀器包括：分子相互作用分析儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿景：
公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求，以應用為基礎的專業(yè)儀器設備供應商、專有技術提供商，實現公司在行業(yè)內的超常規(guī)發(fā)展。

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產品簡介在線詢價

獨立的MAPLEPLD系統(tǒng)有機和聚合物薄膜的沉積在同一室的附加沉積源(可選):脈沖電子沉積(PED)

脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 Laser MBE/PLD System 產品詳情

獨立的MAPLE PLD系統(tǒng)

有機和聚合物薄膜的沉積

在同一室的附加沉積源(可選): 脈沖電子沉積(PED)，射頻/直流濺射和直流離子源

Load-lockable襯底階段

與XPS分析系統(tǒng)集成，直接將晶片從PLD系統(tǒng)轉移到分析系統(tǒng)

激光 MBE 是普遍采用的術語，該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法，高真空下的 PLD 與在線工藝監(jiān)測的反射高能電子衍射（RHEED）的聯合應用，用戶提供了類似于 MBE 的薄膜生長的單分子水平控制。正確的設計是成功使用 RHEED 和 PLD 的重要因數 RHEED 通常在高真空環(huán)境下使用。然而，因為在某些特殊情況下，PLD 采用較高的壓力，差動抽氣是必要的，維持 RHEED 電子槍的工作壓力，同時保持 500 mTorr 的 PLD 工藝壓力。同時，設計完整的系統(tǒng)消除磁場對電子束的影響是至關重要的。Neocera 激光 MBE 系統(tǒng)可以添加客戶定制系統(tǒng)，比如超高真空激光襯底加熱器，用于集成原位分析系統(tǒng)（XPS/ARPERS 等）。樣品可以簡單地從激光 MBE/PLD 系統(tǒng)傳送到超高真空 XPS/ARPERS 系統(tǒng)。

關鍵詞：加熱器

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