美國BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計數器 產品簡介:
美國BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業(yè)界ling xian 的 ISO 21501 數據準確性和再現性,是業(yè)內zui 潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。
美國BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計數器 產品特點:
可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
熱插拔電池-確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池,故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
測試向導(Test Wizard)能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導體生產環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤順序采樣系統
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統部署低成本的現場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
靈活的通訊方式——設置簡單,數據傳輸方便
供選擇的無線,以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統,或者客戶已有監(jiān)控軟件,以便減少文書工作
直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域,位置和運行參數的配置和復制,節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中,從而消除參數設置錯誤,并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃!
符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
于滿足特殊顆粒計數要求,儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。
美國BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計數器 產品技術參數:
粒子通道個數: | 6個 |
粒徑通道(µm): | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 |
流量: | 11.0 CFM (28.3 Lpm) |
零點計數: | ISO 21501-4和JIS B (9921) |
標準: | 在5分鐘1顆或少于1顆, 95% UCL |
很大濃度限制: | 在50,000 /ft3 時為5% |
通訊: | 通過以太網、USB數據線或U盤可以直接通過計算機獲取顆粒計數數據。不需要設備驅動或軟件 |
計數效率: | 在0.1 μm時為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B9921,粒徑大于0.15μm時為 100 |
光源: | 氦氖激光器 |
泵: | 可供連續(xù)使用的專有的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
計數顯示: | 彩色1/4英尺VGATFT觸摸屏 |
打印機: | 高速熱敏打印機 |
語言: | 英語、法語、德語、意大利語、西班牙語、韓語、日語、中文 (簡體中文+繁體中文) |
很大計數: | 可顯示9,999,999 |
取樣時間: | 1秒到23小時59分59秒 |
保持/延遲時間: | 0秒到23小時59分59秒 |
計數報警: | 1到9,999,999個 |
地址 編號: | 1 ~ 9,999,999 |
名稱: | 文字描述,顯示在打印輸出資料上 |
零計數等級: | 1個/5分鐘(根據JIS B9921) |
歧管: | 支持 2432 32-端口的多路采樣系統 |
數據儲存: | 5000個樣品,可在前面板滾動顯示 |
輸出: | USB 客戶端 (版本為 1.1) USB 主機端 (版本為 1.1) RS485配有TCP/IP 通訊協議的以太網 配有802.11g通訊協議的無線輸出 (可選) MET ONE 2432型多路采樣系統 備用接口 (警報和掃描探頭) |
通訊協議: | Modbus TCP,Modbus RTU,串行的FX |
輸入: | 空氣速度傳感器 相對濕度/溫度探頭 |
自動CDA 清洗: | 連接到CDA之后,清洗電磁閥會被激huo。 |
儀器的保修期: | 2年 |
電池類型: | 鋰電池,可充電,可熱插拔 |
電池個數: | 2個 |
電池運行時間: | 100 LPM (1.77 CFM) zui短3小時 |
電池充電時間: | 很少6.75小時,很多為10個小時 |
電源: | 24 VDC 3.2A ,配有100~240 VAC 50/60 Hz 適配器 (包含在運輸箱中) |
尺寸: | 31.8 W x 25.4 D x 20.3 H cm (12.5 x 10 x 8 inches) |
重量(不含電池): | 15.9 kg (35 lb) |
電池重量: | 0.66 kg (1.45 lb) |
機箱材質: | 易于清潔的鈍化不銹鋼 |
操作環(huán)境濕度: | 運行溫度 0 ~ 40℃ (32~104°F),相對濕度為10 ~ 90% ,無冷凝 |
儲存環(huán)境濕度: | -40 ~ 50℃ (-40 ~ 122°F),相對濕度為0 ~ 98%,無冷凝 |
可選附件: | 能型電池充電器/校準器:PN 280-300-5000 |
備用電池: | PN 280-120-2024 |