IGS主要零部件規(guī)格說明及選型，包含IGS用氣動閥、阻絕閥、逆止閥、流量調節(jié)閥。
并介紹IGS用基礎組件，包含墊片、鍍銀螺帽/螺絲及特殊工具。
六大基本概念
①基本技術至高性能化—— * 安全&潔凈之技術
②小型化—— * IGS面板體積約僅為傳統(tǒng)面板的1/3
* 采用SEMI界面
③提升品質—— * 氣密 部位采用W-seal，使得氣密部位與承受外力部分分離。
* 各組件以氣密部位為中心，采用水平系統(tǒng)的緊密施工結構。
* 鍍銀螺帽及螺絲采用可裝100次以上的耐用性能的SUSXM7，耐蝕性*。
④提升施工、維修效率—— * 所有零組件皆可從上方拆裝。
* 利用特殊工具，可極大縮短施工時間。
* 每個氣密部位上方都有測漏孔，可透過PINPOINT準確地檢查泄漏情況。
* 通過簡單的帶狀加熱工具，即可穩(wěn)定操控流體溫度。
* 扣釘捕捉系統(tǒng)，可預防施工、維修時螺絲松脫。
* 采用付導環(huán)的墊片，便于安裝，并可防止傷及墊片氣密面。
⑤標準化設計—— * 利用標準化零組件陣容及少數(shù)產品種類，即可達到高度自由設計目標。
⑥降低成本—— * 通過小型化、標準化、提升施工效率等達到降低整體成本目標。
