規(guī)格號(hào) | 參數(shù) | |
測(cè)量范圍 | X軸 | 0-200mm可選 |
Z軸 | 0-620mm可選 | |
Z1軸 | 6mm,2mm | |
線性精度 | 輪廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm測(cè)桿) |
粗糙度 | ≤±(12nm+3%) |
輪廓測(cè)量:各種類型工件表面的線要素,點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測(cè)量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù):Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr