TMC 主動隔振系統(tǒng) 帶寬0.6-150Hz 森泉光電
是一種靈活的 gao級 主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和*的壓電執(zhí)行器，通過連續(xù)測量地板活動，然后擴展和收縮壓電執(zhí)行器以濾除地板運動，實時消除振動。
TMC 主動隔振系統(tǒng) 帶寬0.6-150Hz 森泉光電
STACIS®III是先jin的主動振動隔離系統(tǒng)。采用慣性振動傳感器、復雜的控制算法和壓電致動器，STACIS通過連續(xù)測量地板活動，擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離。
起初被設(shè)計用于半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設(shè)備振動隔離， STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，它廣泛應(yīng)用于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。
Stacis III包括一個新型改進的數(shù)字控制器—DC-2020。它搭載 zui 新 gao 效 的雙核處理器，前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型控制系統(tǒng)為用戶提供了一個現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。
Stacis III在世界各地有數(shù)百個成功安裝案例，對于大部分振動敏感儀器來說都是 zui 理想 的振動消除系統(tǒng)。
Stacis®III優(yōu)勢
STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容。
設(shè)計有 du 特 的通信串口和專有high-force壓電技術(shù)導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲，以及從2Hz開始主動振動消除性能可達到90%。
特點&優(yōu)點
從0.6Hz開始隔離振動，1Hz時可隔振40%到70%
2Hz時在高度、水平和垂直三個方向上提供超過90%的振動隔離
減少工廠地板鋪設(shè)成本，使設(shè)備能夠安裝在較強振動環(huán)境中
主動帶寬：0.6Hz到150Hz
設(shè)備制造商竭力推薦
六自由度活動硬性底座設(shè)計，無氣浮支撐
魯棒控制系統(tǒng)，不需要預先調(diào)適
可與設(shè)備內(nèi)置隔振系統(tǒng)兼容
當環(huán)境振動水平隨時間增加時，確保設(shè)備滿足自身的振動標準
利用TMC Stacis®技術(shù)通過壓電陶瓷致動器來消除振動
帶有基于計算機的圖形用戶界面(GUI)的數(shù)字控制器
在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用
兼容各種地板的高度和類型
TMC關(guān)注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服務(wù)
TMC 主動隔振系統(tǒng) 帶寬0.6-150Hz 森泉光電
性能特性 DC-2020 控制器特點
隔離器尺寸、環(huán)境和設(shè)備使用要求
應(yīng)用注釋
如下圖所示的45納米線寬測試模型圖是Amphibian Systems公司生產(chǎn)，安裝在德克薩斯州奧si汀SEMATECH的浸沒式光刻系統(tǒng)測試模型。
設(shè)備一開始被安裝在由鋼制支撐結(jié)構(gòu)支撐的鋼鐵混凝土基座（商用彈性體隔振墊）上，但是這臺基座沒有達到設(shè)備指ding的振動標準，模型圖品質(zhì)較差。
把底座的支撐結(jié)構(gòu)移走，用主動壓電振動消chu系統(tǒng)STACIS來進行改裝。將STACIS直接安裝在已有的底座下面。用STACIS來支撐設(shè)備顯著減少整體振動水平，以達到生產(chǎn)商的地面振動標準。更重要的是，STACIS顯著地改shan了模型品質(zhì)。
森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：
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探測器：光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等
定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等
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