1.簡(jiǎn)介
　　DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱(chēng)Mass Flow Controller（縮寫(xiě)為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
　　DSN系列氣體流量控制器/質(zhì)量流量控制器特性：
　　產(chǎn)品名稱(chēng)：氣體質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)
　　標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
　　準(zhǔn)精度：±1％F.S；
　　重復(fù)精度：±0.2%F.S
　　響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec
　　氣特性＜1～4sec 氣體流量控制器線(xiàn)性：±（0.5～1）％F.S
　　工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　氣體流量控制器耐壓：3，10MPa；
　　工作環(huán)境溫度：5～45℃
　　輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V
　　電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
　　電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........