◆功能:
主要針對wafer上每Die逐片點(diǎn)燈以進(jìn)行 光學(xué)性能,電氣性能 AOI檢測
◆規(guī)格:
wafer Probe: 支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader,支持 Wafer自動(dòng)上下料
客制化Prober Card,支持單通道&多通道測試
搭載151M光學(xué)光譜儀鏡頭 ,支持8K分辨率,支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測試
主動(dòng)防震臺支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統(tǒng)整合
◆特點(diǎn):
·晶圓光學(xué)測試系統(tǒng),8&12inch各種材質(zhì)晶圓;
·自動(dòng)三軸運(yùn)動(dòng)控制;
·Wafer上下料,自動(dòng)對位,自動(dòng)測試;
·多功能夾具,支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載,支持AOI與光學(xué)測試。
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
尺寸 | 長*寬高2.84m*1.90m*2.40m |
測試樣品大小 | 8”&12" wafer |
光譜儀 | CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3 |
相機(jī) | 4300萬,高分辨率CCD |
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺桿 |
功能 | 色度、亮度、均勻性、光譜測試等;支持:點(diǎn)、線面缺陷測試, mura測試 |
信號 | 支持特儀自制信號機(jī)以及市面通用品牌信號機(jī),支持客制化信號,信號格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等 |
電源 | 支持高精度多路直流電源輸出,以及客制化電源需求 |
軟件 | 特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化,操作簡單, UI界面可依據(jù)客 戶需求進(jìn)行定制,軟件自帶各標(biāo)準(zhǔn)測試手法,可以通過直接調(diào)用模式進(jìn)行測試 |