Agilent BA1500半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)
主要技術(shù)指標(biāo)
探針臺(tái)：
1.探針臺(tái)主機(jī)：卡盤(pán)XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm
2.絲桿軸承確保高精度移動(dòng)，分辨率3.5um
3.針座：精度0.7um
4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀
1.直流I-V測(cè)試：
具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測(cè)量zui小電壓分辨率0.5μV、zui小電流分辨率0.1fA
2.C-V測(cè)試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V；測(cè)量精度±0.2 %3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測(cè)量間自動(dòng)切換，不會(huì)影響測(cè)量精度
4.脈沖IV：
提供兩路快速I(mǎi)V/脈沖輸出，具有任意波形產(chǎn)生功能
zui小脈沖寬度：50ns；脈沖電平范圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載)；電壓測(cè)量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測(cè)量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量，準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量，時(shí)域測(cè)量等。
