嵌入式動態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-5：本設(shè)備可用于氣體傳感器等方面的研究，適用于半導(dǎo)體、集成電路工藝、特種材料學(xué)科、環(huán)境保護、工業(yè)衛(wèi)生、科研、教學(xué)、化工、石化等部門的定量配氣。
嵌入式動態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-5主要優(yōu)點是：
1、可根據(jù)需求，任意設(shè)置各氣體配比濃度的范圍
2、可配比CH4、H2等有毒或危險氣體
3、智能控制，可通過軟件進行配氣濃度和氣體選擇
4、擁有有毒、可燃氣體預(yù)警裝置，保證實驗安全
5、可根據(jù)用戶需求進行選配配置，可拓展物聯(lián)網(wǎng)無線功能
主要是用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制，配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。本配氣儀采用質(zhì)量流量比混合法，是一種動態(tài)配氣法，通過嚴格控制一定比例的組份氣體，并加以混合而制定標(biāo)準(zhǔn)氣體。與瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣相比，使用該方法能夠在同一配氣系統(tǒng)上，可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣，配制的目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度種類多樣且連續(xù)可調(diào)；可稀釋范圍寬；通過PID調(diào)節(jié)法精密計算，系統(tǒng)不受環(huán)境溫度與壓力變化影響； 可以適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體，甚至包括爆炸性氣體 、可燃氣體、毒性氣體等，具有很好的應(yīng)用價值；采用氣體質(zhì)量流量計控制每一路所需的原料氣體的流量，可以控制配制目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的總流量，實現(xiàn)連續(xù)配制并供給目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體，使用方便、靈敏度高、精度高。
